產品簡介
SuperViewW系列3D光學輪廓儀檢測儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復性(STR)、0.005nm粗糙度RMS重復性,連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片,數(shù)據(jù)偏差<0.001nm,符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內外標準。
中圖儀器SuperViewW系列3D光學輪廓儀檢測儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復性(STR)、0.005nm粗糙度RMS重復性,連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片,數(shù)據(jù)偏差<0.001nm,符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內外標準。無論是納米級臺階高度、微觀幾何輪廓,還是超光滑表面粗糙度,均能精準量化,為工藝調整提供可信的量化依據(jù)。

1.半導體制造:適配硅晶片研磨減薄后的粗糙度檢測、光刻槽道輪廓測量,助力頭部企業(yè)工藝良率提升8%,檢測數(shù)據(jù)通過國際標準認證,滿足供應鏈合規(guī)要求。
2.3C電子:精準測量手機玻璃屏粗糙度、金屬殼模具瑕疵、油墨屏高度差,批量檢測報表支持Word/Excel/PDF格式自動導出,適配化供應鏈質檢存檔需求。
3.光學加工:量化納米臺階高度、光學元件表面輪廓,916.5nm臺階測量重復性達0.08%,幫助企業(yè)產品合格率從92%提升至99.2%。
4.汽車零部件:檢測精密軸承孔隙間隙、齒輪表面磨損輪廓,在復雜車間環(huán)境中保持數(shù)據(jù)穩(wěn)定,某車企質檢周期縮短50%。

1. 自研軟件平臺:Xtremevision Pro支持多機型自動識別,白光干涉與共聚焦模式自由切換,可直接測量微觀輪廓的距離、角度等參數(shù)。
2. 靈活硬件配置:320×200mm載物臺(負載10kg),標配10×干涉物鏡,可選2.5×-100×鏡頭,適配不同尺寸、類型工件。
3. 安全與便捷:集成式操縱桿控制XYZ軸、速度及光源亮度,急停功能一鍵觸發(fā),新手培訓1天即可獨立操作。
SuperViewW系列3D光學輪廓儀檢測儀器高精度、高效率、高適配、低運維,是精密制造企業(yè)的選擇檢測設備。如需獲取產品演示視頻、行業(yè)專屬方案或免費樣品測試,歡迎聯(lián)系客服。
注:產品參數(shù)與配置以實際交付為準,中圖儀器保留根據(jù)技術升級調整的權利,恕不另行通知。
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