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高精度位置反饋激光干涉尺

產(chǎn)品簡介

PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,一站式解決高要求場景下的位置檢測難題,為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活"的測量體驗(yàn)。

產(chǎn)品型號:PLR3000
更新時(shí)間:2025-11-17
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:187
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中圖儀器PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm,線性精度高達(dá)0.2ppm,一站式解決高要求場景下的位置檢測難題,為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活"的測量體驗(yàn)。

高精度位置反饋激光干涉尺

一、產(chǎn)品功能

1. 納米級信號輸出:10nm高分辨率(支持外部拓展),正交數(shù)字/1Vpp正余弦信號雙輸出,適配各類控制器;

2. 全環(huán)境自適應(yīng):一體化環(huán)境氣象站,實(shí)時(shí)補(bǔ)償環(huán)境參數(shù)對測量的影響,數(shù)據(jù)長期可靠;

3. 靈活安裝設(shè)計(jì):激光主機(jī)與探頭分離,3m鎧裝光纖連接,遠(yuǎn)離熱源干擾,狹小空間也能便捷安裝;

4. 多維度測量支持:單軸/雙軸/三軸自由配置,搭配多種干涉探頭,輕松實(shí)現(xiàn)多自由度測量;

5. 雙重使用模式:PLR3000高精度位置反饋激光干涉尺既可作為激光干涉儀獨(dú)立測量,也可接入系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)位置反饋控制;


二、產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 精度碾壓傳統(tǒng)方案:相比鋼帶尺/玻璃光柵,柵距更精準(zhǔn)、分辨率更高,環(huán)境補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)一步保障數(shù)據(jù)穩(wěn)定性;

2. 定制化適配能力:支持量程拓展、探頭選配、多通道輸出,根據(jù)客戶生產(chǎn)場景量身定制方案;

3. 降本增效屬性:體積小巧降低阿貝誤差,安裝快捷減少調(diào)試成本,動(dòng)態(tài)測量能力適配高速生產(chǎn)線;

4. 全周期可靠保障:激光校準(zhǔn)認(rèn)證加持,數(shù)據(jù)可追溯,滿足工業(yè)生產(chǎn)合規(guī)要求;


三、產(chǎn)品應(yīng)用

1. 半導(dǎo)體制造:光刻機(jī)晶圓精準(zhǔn)定位、精密工件臺閉環(huán)反饋,助力芯片制造良率提升;

2. 航空航天:發(fā)動(dòng)機(jī)葉片形變檢測、高精度裝配校準(zhǔn),保障核心部件可靠性;

3. 精密加工:數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋、微機(jī)械元件測量,提升加工精度與效率;

4. 科研領(lǐng)域:光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備控制,支撐前沿研究數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度;

高精度位置反饋激光干涉尺

注:產(chǎn)品參數(shù)將隨技術(shù)迭代優(yōu)化,相關(guān)內(nèi)容可能實(shí)時(shí)更新,恕不另行通知,敬請諒解。

如需了解參數(shù)細(xì)節(jié)、合作政策或獲取樣品測試,歡迎聯(lián)系中圖儀器,中圖專業(yè)團(tuán)隊(duì)為你賦能生產(chǎn)升級!

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